|
¢º
¢º
¢º
|
RTP, RTA, RTO, RTN, RTD.... µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸ ¼öÇàÀÌ °¡´ÉÇÑ ÄÄÆÑÆ®ÇÑ µðÀÚÀÎÀÇ
±Þ¼º Áø°ø ¿Ã³¸® Àü¹® ÀåºñÀÔ´Ï´Ù !
¼ÒÇü wafer¿¡¼ 300mm waferéÄ(4, 6, 8, 12ÀÎÄ¡)±îÁö ´Ù¾çÇÑ RTP/RTA Àåºñ °ø±Þ !
1 è¹ö - 1 ÄÁÆ®·Ñ·¯, 2 è¹ö - 1 ÄÁÆ®·Ñ·¯(¿É¼Ç) / 10-3 hPa, 10-6 hPa(¿É¼Ç) !
|