)

(µ¿°æ Big Sight¿¡ °³ÃֵǴ InterNepcon Àü½Ãȸ ÃâÇ°)

 

 

 
 

 

 

 

 

 

     

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

     
     
 

Rapid Thermal Process(ing)  /  Rapid Thermal Annealing

     
 

¢º

 

¢º

¢º

RTP, RTA, RTO, RTN, RTD.... µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸ ¼öÇàÀÌ °¡´ÉÇÑ ÄÄÆÑÆ®ÇÑ µðÀÚÀÎÀÇ
±Þ¼º Áø°ø ¿­Ã³¸® Àü¹® ÀåºñÀÔ´Ï´Ù !

¼ÒÇü wafer¿¡¼­ 300mm waferéÄ(4, 6, 8, 12ÀÎÄ¡)±îÁö ´Ù¾çÇÑ RTP/RTA Àåºñ °ø±Þ !

1 è¹ö - 1 ÄÁÆ®·Ñ·¯, 2 è¹ö - 1 ÄÁÆ®·Ñ·¯(¿É¼Ç) / 10-3 hPa, 10-6 hPa(¿É¼Ç) !

     
     

 

 

 

 

 

µ¶ÀÏ UniTempÞäÀÇ RTP(RTA) Àåºñ ¸®½ºÆ®

      º» Àåºñ´Â ¿¬±¸ ¸ñÀûÀ¸·Î °³¹ßµÈ ¸ðµ¨µé·Î¼­ ¿¬±¸½ÇÀÇ °ø°£¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÄÄÆÑÆ®ÇÑ µðÀÚÀÎ
      (
555(W) x 460(H) x 520(D) (mm))°ú Á¤±³ÇÑ ¿Âµµ Á¦¾î(¿Âµµ »ó½Â/¿Âµµ ÇÏ°­ ¸ðµÎ), ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤/ºÐÀ§±â
      °¡½º »ç¿ë, ±×¸®°í Áø°ø »óÅ¿¡¼­ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸ °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °³¹ß.»ý»êµÇ°í
      ÀÖ½À´Ï´Ù.        ¼¼°èÀûÀÎ ÀÀ¿ë±â¼ú¿¬±¸ÀÇ ¸®´õÀÎ µ¶ÀÏ ÇÁ¶ó¿î È£ÆÛ -  
      ±âÃʱâ¼ú¿¬±¸ ±â°ü ¸·½º ÇÁ¶ûÅ©¿¡¼­µµ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â  ÃÖÁ¤»ó±ÞÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» °¡Áø Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.

 
 

 

 

 VPO-1000-300 °øÁ¤ Àü 300mm wafer       

 VPO-1000-300 °øÁ¤ ÈÄ 300 mm wafer